製品情報・注文方法

 シリコンキャリア(SC)とは、搬送用のシリコン基板(6~12インチ)にくぼみと押さえ機構を加工し、小口径の化合物半導体ウエハ等を固定する商品ですが、各半導体装置別に以下のラインナップを用意しております。

 

 ご質問等は、「問合わせ」からお願い致します。

 

■ 品名一覧

 (1)露光用研削シリコンキャリア

 (2)イオン注入用シリコンキャリア

 (3)エッチング・デポ用シリコンキャリア

 (4)アニール用シリコンキャリア

 (5)カスタムSC

 

■ 標準納期: 1週間(製品仕様書ご確認後)

 

■ 標準価格(仕様、数量による): 30万円/枚(8インチ)~、45万円/枚(12インチ)~

 

■ カスタム対応 標準SC以外も個別対応いたします。

         info@carrier-integ.comにご連絡ください。

 

■ 発注方法:

   以下のSC作成指示書にご記入頂き、弊社に送付ください。
  納入仕様書(外形図、製品仕様書、検査仕様書、梱包仕様書)/見積書を返送いたしますので、

  承認頂いた後、製造を開始いたします。

   (1)搬送用シリコン基板サイズ(5,6,8インチ、SEMI規格)

   (2)切削量-Z軸方向(お客様のご指定値、um単位)

   (3)切削量-XY軸方向(1,2,3,4,5インチ○、角、その他)

   (4)~その他のパラメータ指定 

■SC作成指示書:  

SC作成指示書
SC作成指示書に必要事項をご記入の上、下記にお送りください。
<info@carrier-integ.com>
,
SC作成指示書_V8.xlsx
Microsoft Excel 22.8 KB